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    KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)

    供稿:基恩士(中國(guó))有限公司 2011/10/19 16:30:34
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           KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)。

     

     

    激光掃描顯微系統(tǒng)可以解決所有的課題

     

    使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)



    光學(xué)顯微鏡
    光學(xué)顯微鏡
    提升倍率后,難以對(duì)焦,分辨率不足。
    SEM
    SEM
    前處理或樣本尺寸等的準(zhǔn)備煩瑣,僅能以黑白色進(jìn)行觀察。
    粗糙度儀
    粗糙度儀
    不能夠?qū)崿F(xiàn)一邊放大觀察,一邊對(duì)工件部位實(shí)施非破壞性的凹凸測(cè)量。
    使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)

     

     
     
    光學(xué)顯微鏡

     



    有限的分辨率和放大倍數(shù)
    有限的分辨率和放大倍數(shù)
    光盤坑 (6000 倍)
    景深淺
    景深淺
    刀尖 (1000 倍)
    不支持可追溯性
    不支持可追溯性
     
     
    高分辨率,大景深觀察

     



    高分辨率, 最大放大24000 倍
    高分辨率, 最大放大24000 倍
    光盤坑(6000 倍)
    完全聚焦的清晰圖像
    完全聚焦的清晰圖像
    刀尖(1000 倍)
    符合溯源性要求
    符合溯源性要求
    使用 VK 系列獲得的測(cè)量結(jié)果是高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù),并且符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)溯源性。
     
    SEM

     



    顏色不能確定,因?yàn)閳D像是黑色和白色
    顏色不能確定,因?yàn)閳D像是黑色和白色
    墨粉 (1000 倍)
    準(zhǔn)備與觀察需要大量時(shí)間
    準(zhǔn)備與觀察需要大量時(shí)間
     
    樣本大小是受限制的
    樣本大小是受限制的
    由于受到樣本的大小或者樣本不適合在樣品室等原因的影響,觀察有時(shí)是不可能的。
     
    仿佛彩色 SEM

     



    16 bit 激光彩色觀察
    16 bit 激光彩色觀察
    墨粉(1000 倍)
    放置并且測(cè)量,您可以在幾秒鐘內(nèi)進(jìn)行分
    放置并且測(cè)量,您可以在幾秒鐘內(nèi)進(jìn)行分
     
    各種樣品的測(cè)量
    各種樣品的測(cè)量
    可拆卸測(cè)量頭單元允許各種尺寸的樣品測(cè)量??刹鹦稖y(cè)量頭單元可以與其他設(shè)備整合并支持遠(yuǎn)程操作。
     
    粗糙度儀

     



    由于接觸探針造成樣本刮傷
    由于接觸探針造成樣本刮傷
    鋁表面(200 倍)
    在屏幕上水平凹槽。
    難以測(cè)量目標(biāo)
    難以測(cè)量目標(biāo)
    用觸筆擊中目標(biāo)的理想位置可能會(huì)產(chǎn)生一些問(wèn)題,例如目標(biāo)為螺紋頂。
    分辨率受限于觸筆尖端直徑
    分辨率受限于觸筆尖端直徑
    無(wú)法測(cè)量粗糙度小于測(cè)量?jī)x器的觸筆尖端的粗糙度的表面。
     
    無(wú)損輪廓和粗糙度測(cè)量
     
     
     
     
     
     
     

     

    全方位性質(zhì)的清晰觀察

     

    從光學(xué)觀察到類似于彩色 SEM 的高分辨率觀察

    關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

    16 bit 激光彩色觀察

    在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

    光學(xué)觀察
    光學(xué)觀察
     
     
     
    全焦觀察
    全焦觀察
     
     
     
    高分辨率激光 黑白觀察
    高分辨率激光 黑白觀察
     
    16 bit 激光彩色觀察
    16 bit 激光彩色觀察

    在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

    通過(guò)短波長(zhǎng)激光全面掃描,能夠以光學(xué)顯微鏡無(wú)法實(shí)現(xiàn)的分辨率,按 200 至 24000 倍率* 實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

    * VK-X200 系列時(shí)
     
    光學(xué)圖像
    光學(xué)圖像
     
    激光圖像 盤片坑(6000 倍)
    激光圖像 盤片坑(6000 倍)

    以類似于 SEM 的分辨率實(shí)現(xiàn)真彩觀察。

    對(duì)于由激光獲取到的各像素均已正確對(duì)焦的高度的色彩信息,由 CCD 相機(jī)按每 1 像素分別提取,再轉(zhuǎn)換成激光高分辨率圖像。
     
    激光黑白圖像
    激光黑白圖像
     
    16 bit 激光彩色圖像墨粉(1000 倍)
    16 bit 激光彩色圖像 墨粉(1000 倍)

    可運(yùn)行所有表面形狀測(cè)量

    對(duì)于拍攝到的圖像可自由測(cè)量

    關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

    “想測(cè)量高低差· 形狀實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

    [剖面 3D 測(cè)量]
    高度· 寬度· 角度截面積測(cè)量
    對(duì)測(cè)量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓,都可進(jìn)行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R 值”等測(cè)量。
     
    基板高度差高度·寬度測(cè)量(1000 倍)
    基板高度差高度·寬度測(cè)量(1000 倍)
     
    微攝鏡頭 R 測(cè)量(1000 倍)
    微攝鏡頭 R 測(cè)量(1000 倍)

     

    表面積· 體積測(cè)量
    測(cè)量屏幕上任何指定區(qū)域的“體積”、“表面積”、“ 面積∶表面積之比”。
     
    光學(xué)薄膜 (1000 倍)
    光學(xué)薄膜 (1000 倍)
     
    太陽(yáng)能電池表面積測(cè)量(1000 倍)
    太陽(yáng)能電池表面積測(cè)量(1000 倍)

    “想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

    [可以精確測(cè)量線粗糙度和面粗糙度]
    線粗糙度測(cè)量
    可以一邊觀察2D 或3D 圖像,一邊避開頂點(diǎn)或異物,測(cè)量目標(biāo)部位的粗糙度。
     
    “想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

     

    面粗糙度測(cè)量
    從視覺上來(lái)講存在差異,那么差異究竟有多大呢? 可以測(cè)量面的粗糙度,通過(guò)數(shù)值確認(rèn)平均化后的差異。

    (例)功能性薄膜的暗紋(3000 倍)
    樣本A: Ra 1.5 μm
    樣本A: Ra 1.5 μm
     
    樣本B: Ra 3.2 μm
    樣本B: Ra 3.2 μm
     

    透明薄膜測(cè)量?jī)?nèi)置“獨(dú)特的算法”

    不僅實(shí)現(xiàn)膜厚測(cè)量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。
    可對(duì)觀察視野整個(gè)區(qū)域執(zhí)行多層分析。可對(duì)已選的各層或多層進(jìn)行 3D 圖像顯示、橫截面輪廓顯示,可測(cè)量任意位置的形狀、薄膜厚度。
     
    透明薄膜測(cè)量?jī)?nèi)置“獨(dú)特的算法”

    “想要一次性自動(dòng)拍攝· 測(cè)量多個(gè)樣本”

    [自動(dòng)測(cè)量具備規(guī)則圖形的工件]
    自動(dòng)寬度· 高度測(cè)量
    對(duì)于具備規(guī)則圖形的工件的寬度· 高度,按照設(shè)置條件自動(dòng)測(cè)量。由于是自動(dòng)測(cè)量,因此不會(huì)生成人員造成的誤差,可以在短時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量。
     
    光致抗蝕圖形(6000倍)
    光致抗蝕圖形(6000倍)
     
    光學(xué)薄膜(1000 倍)
    光學(xué)薄膜(1000 倍)

    全自動(dòng)測(cè)量

    誰(shuí)都可以實(shí)現(xiàn)和熟練人員一樣的測(cè)量

    關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

     

    通過(guò)融入長(zhǎng)年專有經(jīng)驗(yàn)的 AI-Scan,僅需按下“ 測(cè)量開始”按鈕,便能得到符合樣本的最佳設(shè)置,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
    全自動(dòng)測(cè)量
     

    [世界首創(chuàng)] AI-Scan 3 個(gè)功能

    單擊測(cè)量開始按鈕便可實(shí)現(xiàn)
     
    1. AAG 功能
    對(duì)受光組件的激光受光靈敏度運(yùn)行 2 項(xiàng)最佳調(diào)整。對(duì)于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測(cè)量。
    * AAG=Advanced Auto Gain
    傳統(tǒng)方式
    傳統(tǒng)方式
     
     
     
    AAG 功能
    AAG 功能
    金剛石工具(400 倍)
    2. 自動(dòng)上下限設(shè)置
    對(duì)于樣本的上下限在整個(gè)畫面區(qū)域?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)識(shí)別和設(shè)置,在上下限范圍之內(nèi)運(yùn)行掃描和測(cè)量。
    鏡頭自動(dòng)掃描
    鏡頭自動(dòng)掃描
     
    識(shí)別畫面內(nèi)的上下限, 自動(dòng)設(shè)置為測(cè)量范圍。
    識(shí)別畫面內(nèi)的上下限, 自動(dòng)設(shè)置為測(cè)量范圍。
     
     
     
    3. 雙掃描功能
    識(shí)別到未有效拍攝的部分時(shí),會(huì)自動(dòng)改變?cè)O(shè)置,運(yùn)行二次拍攝,獲取正確的數(shù)據(jù)。
    單掃描時(shí)
    單掃描時(shí)
     
     
     
    雙掃描后
    雙掃描后
    焊錫(200 倍)

    廣視野的測(cè)量

    通過(guò) WIDE-Scan 簡(jiǎn)單 · 高速地實(shí)現(xiàn)廣視野的測(cè)量

    關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

    課題 1

    視野狹窄的話,無(wú)法明確正在觀察哪個(gè)部位。還想觀察周圍。
    課題 1
     

    高速高精度 WIDE-Scan 解決
    使用 WIDE 的話則可一目了然,不會(huì)發(fā)生測(cè)量部位的錯(cuò)誤。
    想要提升倍率實(shí)現(xiàn)高精度的觀察· 測(cè)量時(shí),有時(shí)會(huì)因視野狹窄而不明白正在觀察哪個(gè)部位。按照對(duì)應(yīng)目標(biāo)分辨率的倍率使用 WIDE-Scan 的話,則可簡(jiǎn)單地獲取到廣視野的高分辨率 3D 圖像。之后對(duì)觀察部位也可做到一目了然。

    課題 2

    關(guān)于局部性的測(cè)量,會(huì)因拍攝部位不同而使數(shù)據(jù)生成偏差。
    課題 2
     
    目錄下載:
    http://www.dream-chase.com/company/datum/2013091317241500001.htm


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    新聞來(lái)源: http://china.keyence.com/GKVKX01

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